FFU（Fan Filter Unit）是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的（HEPA）或超（ULPA）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。

FFU的特点

1、灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应的调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

2、可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，留待下次使用。

3、负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内，使得密封变得很简单而且安全。

4、缩短建设周期。使用FFU省掉了风箱的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

5、减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但在它后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。